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我國的環(huán)保水處理行業(yè), 近些年得到快速的發(fā)展,并且未來前景廣闊。在供水和污水處理工藝中有賴于使用壓力傳感器為系統(tǒng)保護和質(zhì)量保證提供重要控制和監(jiān)測手段。
壓力傳感器將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出,該壓力電信號也可進而用于測量靜態(tài)流體的液位,因此可用來測量液位。壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導氣管組成,被測介質(zhì)壓力P通過隔離膜片和硅油傳遞到硅杯元件的一側(cè),大氣參考壓po通過導氣管作用到硅杯元件的另一側(cè),硅杯元件是一個底部加工得很薄 的杯形單晶硅片。杯底膜片在壓力P和Po做用下產(chǎn)生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,其變形與壓力成嚴格的正比關(guān)系,而且復原性能又極好。
硅膜片上用半導體擴散工藝形成的四個橋路電阻布置成方形,當硅膜片受到壓力產(chǎn)生變形時,處于對角線上的二電阻受壓應力,而另為二個電阻受張應力,由于擴散硅的壓阻效應,使相對的二個電阻阻值增大,二另為二個電阻阻值減小。如果在A-A二端上加上電壓,則C-D間就有一個P-Po差壓成正比的電壓信號輸出。
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